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催化氧化技術是把廢氣加熱升溫至250℃以上，在催化劑的作用下使廢氣中的VOCs氧化分解為CO₂和H₂O，經氧化后的高溫氣體通過換熱器對后續的廢氣進行預熱，減少廢氣升溫所需要燃料消耗的處理技術。